機台基本規格 :

    設備規格

    主機規格尺寸

    2200mm(L)x2000mm(W)x2100mm(H)

    總重量(含主機有泵浦)

    ≈ 1300kg

    功能

    速度

    0.1-3.5M/min

    處理寬幅

    260mm 雙列或 500mm 單列

    RF 發生係統

    等離子 RF 發生源

    8 個 or 10 個(每個 600W ,可以選配 )

    數字電路控製

    配置

    等離子密度監控

    可以選配

    功率 / 溫度 / 轉速 / 溫度監控

    * 設備設計及規格可進行調整 ,以便提高設備性能 。