機台基本規格 :

    設備尺寸

    2000mm(L)×1750mm(W)×2200mm(H)

    真空室尺寸

    850mm(L)×962mm(W)×860mm(H)(可按產能訂製)

    垂直 / 水平 - 極板

    根據產品尺寸和產能要求 製定

    電極板

    標準 :610mm*1100mm

    RF 等離子發生器 & 網絡匹配

    額定功率 :0-10KW(AE)

    過程溫度控製

    30-150℃恒定可控

    氣體流量控製器 ,擴展至 5 路氣體

    0-1000ml/min-0-5000ml/min(   美國 MKS/ SEVEN STAR)

    真空測量

    0-10   TORR( 美國或日本)

    人機界麵觸摸屏

    可根據中國區客戶實際需求 ,中文界麵

    信號指示燈

    3 色帶警報

    真空發生係統

    幹泵機組(台灣 HanBell 幹式真空機組 ,PS902 螺杆機組)

    * 設備設計及規格可進行調整 ,以便提高設備性能 。