- 產品詳情
機台基本規格
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設備尺寸 | 2000mm(L)×1750mm(W)×2200mm(H) |
真空室尺寸 | 850mm(L)×962mm(W)×860mm(H)(可按產能訂製) |
垂直 / 水平 - 極板 | 根據產品尺寸和產能要求 製定 |
電極板 | 標準 :610mm*1100mm |
RF 等離子發生器 & 網絡匹配 | 額定功率 :0-10KW(AE) |
過程溫度控製 | 30-150℃恒定可控 |
0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美國 MKS/ SEVEN STAR) | |
真空測量 | 0-10 TORR( 美國或日本) |
人機界麵觸摸屏 | 可根據中國區客戶實際需求 ,中文界麵 |
信號指示燈 | 3 色帶警報 |
真空發生係統 | 幹泵機組(台灣 HanBell 幹式真空機組 ,PS902 螺杆機組) |
* 設備設計及規格可進行調整 ,以便提高設備性能 。